1、射频电源射频电源是等离子体配套电源，它是由射频功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率计组成，是八十年末期在我国新兴的高科技领域，应用于射频溅射，PECVD化学气相沉积，反应离子刻蚀等设备中现代的射频电源有了长足发展，由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源，功率由瓦百瓦千瓦到。2、1射频电源的工作...